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多源共蒸发沉积设备
仪器编号
2017664100
规格
380V13KW；极限真空6.0*10-5Pa650℃
生产厂家
沈阳奇汇真空技术有限公司
型号
QHV-RTC520C
制造国家
中国
分类号
放置地点
Array
出厂日期
2022-08-31
购置日期
2022-08-31
入网日期
2022-08-31
主要规格及技术指标
极限真空6.0*10-5Pa 样品尺寸10*10cm
主要功能及特色
多源共蒸，精准控温，高真空
主要附件及配置
蒸发室腔一台，内屏蔽腔一套，束源炉蒸发源6套，机械泵一台，分子泵一台，离子泵一台，上位PC机一台
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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