主要规格及技术指标

极限真空6.0*10-5Pa 样品尺寸10*10cm

主要功能及特色

多源共蒸，精准控温，高真空

主要附件及配置

蒸发室腔一台，内屏蔽腔一套，束源炉蒸发源6套，机械泵一台，分子泵一台，离子泵一台，上位PC机一台