肖特基热场发射灯丝;二次电子分辨率≤0.7nm@15kV,≤1.2nm@1kV;背散射电子分辨率≤1.2nm@1kV
用于纳米级材料的表面或截面的高分辨微观形貌观察,配合EDS可对材料表面进行和微区成分分析
能谱仪,SDD电制冷探测器,有效面积≥40mm²