主要规格及技术指标

（1）设备由曝光头系统、对准工件台系统、CCD对准显微镜系统、电控系统、气动系统等部分构成。
（2）冷光椭球镜、XYZ汞灯调节台、冷却风扇、1000W进口直流高压汞灯(德国欧司朗)、光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组（109个透镜）、i线滤光片、场镜、冷光反射镜1、反射镜2
（3）光源、电源、双目双视场对准显微镜主体、目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个）、物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）、CCD+显示器。
（4）汞灯触发电源(1000W直流汞灯)、单片机控制系统、控制柜桌。
（5）真空泵一台（无油泵）、空压机一台（静音泵）、管道

主要功能及特色

无

主要附件及配置

无