分析室极限真空5*10e-10mbar,能量扫描范围0~5000eV,能量分辨率0.45eV,独立的分析室和进样室
电子材料与元器件的表面分析,包括XPS\UPS\ISS\REELS\深度剖析等,可提供各种化合物的元素组成和含量、 化学状态、分子结构、化学键方面的信息。
UPS不间断电源、循环冷水机、电脑