主要规格及技术指标

分辨率： STEM-HAADF像分辨78pm
TEM点分辨 0.19nm
› 电子枪类型：冷场电子发射枪 Cold-FEG
› 校正器：CEOS球差校正器
› zei大倾斜角： X轴±25°，Y轴±25°

主要功能及特色

›材料形貌、电子衍射、衍衬分析；
›超高分辨率相干及非相干高分辨电子显微成像观察；
›纳米尺度成分分析；
›电子能量损失谱(EELS)及原子尺度谱像分析；
›对材料进行三维重构分析

主要附件及配置

› CCD 数码相机
› 能谱仪EDS
› 电子能量损失仪EELS
› TEM/STEM断层扫描系统
› 球差校正器
› STEM-ABF模式
› HAADF探测