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仪器详情
准分子激光器
仪器编号
规格
生产厂家
美国相干公司
型号
COMPex 201
制造国家
中国
分类号
放置地点
Array120
出厂日期
2022-10-27
购置日期
2022-10-27
入网日期
2023-12-12
主要规格及技术指标
1、波长： 248nm
*2、脉冲能量 750mJ
3、平均功率： 7.5W
4、最大重复频率： 10Hz
5、脉冲宽度： 25ns
*6、能量稳定性≤0.75%(≤1.5@193nm)
7、光板大小（V*H）： 24*10mm2
8、光束发散角（V*H）： ≤3*1mrad2
*9、指向稳定性≤50 µrad
主要功能及特色
脉冲激光沉积外延薄膜，最大能量750mJ,最大频率10Hz
主要附件及配置
氟化氪气体，氦气
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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