设备最大放大倍数:205万倍;设备分辨率2.5nm; 光学导航相机:彩色;加速电压:5 kV - 15 kV;
背散射电子成像、二次电子电子成像和能谱分析功能,可对各种样品进行高分辨成像及元素分析。
样品杯、样品台